環(huán)境的重要性逐年增強(qiáng),尤其是VOCs的環(huán)境污染,導(dǎo)致環(huán)境污染,許多工業(yè)現(xiàn)場發(fā)生災(zāi)害, 由此產(chǎn)生的產(chǎn)業(yè)災(zāi)害每年都在急速增加。

       特別是在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,必須使用各種化學(xué)藥品的環(huán)境,VOCs的排除量很高,特別是Display，生產(chǎn)工藝規(guī)定的排放限制或ISO  14001 的應(yīng)對(duì) ，作業(yè)環(huán)境改善的觀點(diǎn)，VOC的減少及處理是必需的。

       污染嚴(yán)重的封閉無塵車間內(nèi)對(duì)制程設(shè)備及生產(chǎn)產(chǎn)品的表面的particle污染加劇，部分產(chǎn)生二次化學(xué)反應(yīng)，加劇污染造成產(chǎn)品不良， 必要的揮發(fā)性有機(jī)物質(zhì)減少對(duì)產(chǎn)品良率提升有一定影響。 目前,VOCs一般采用zeolite Roll結(jié)構(gòu)方式較多，這種結(jié)構(gòu)VOCs濃縮率只限于15倍左右 。 為了克服這一難題,我們生產(chǎn)了Cylinder結(jié)構(gòu)的設(shè)備，濃縮率可達(dá)到30倍。

工作原理

設(shè)備效能

設(shè)備規(guī)格

設(shè)備安裝

可行方案推薦
        考慮到潔凈室的環(huán)境條件（恒溫恒濕的潔凈環(huán)境）以及污染源的構(gòu)成、 物理性質(zhì)、濃度數(shù)值等可采用的去 除VOC的方案基本鎖定在濃縮法、 吸附法和凝縮法。

       01： FFU+化學(xué)過濾器(吸附法)，F(xiàn)FU配置的化學(xué)過濾器，吸附材料填充量有限容易吸附 飽和，適用于環(huán)境VOC濃度不高的場合，通常在制程工藝較先進(jìn)的晶原半導(dǎo)體廠、  LTPS廠等有應(yīng)用。

       02： 污染源區(qū)域氣體直排(置換通風(fēng))，送入潔凈室內(nèi)的空氣需要進(jìn)行熱濕及過濾處理， 新風(fēng)成本較高，且污染的空氣真接排放對(duì)大氣會(huì)有污染。通常應(yīng)用在試驗(yàn)臺(tái)、小型 試驗(yàn)區(qū)等。

       03： 潔凈室內(nèi)增設(shè)VOC處理設(shè)備(吸附濃縮)濃縮后的高濃度氣體需要通過有機(jī)排氣系統(tǒng) 排出，污染源附件通常設(shè)有有機(jī)排氣管路，若有機(jī)排氣系統(tǒng)有余量可以接入。此方 案在Sansung和LGD 液晶面板廠商中有應(yīng)用。